耐高溫晶圓鑷子(Rubis晶圓鑷子)又叫做精密鑷子,導(dǎo)靜電鑷子,簡(jiǎn)稱PEEK具有耐高溫, 耐磨損性,耐化學(xué)品腐蝕、阻燃等諸多顯菩優(yōu)勢(shì):
A.可在2509C下長(zhǎng)期使用,在高溫下能保持較高的強(qiáng)度,尺寸穩(wěn)定性較好,線脹系數(shù)較小,非常接近于金屬鋁材料; .
B.(Rubis晶圓鑷子)具有突出的摩擦學(xué)特性,耐滑動(dòng)磨損和微動(dòng)磨損性能優(yōu)異,尤其是能在250°C下保持高的耐磨性和低的摩擦系數(shù),因此,夾取晶圓,硅片的時(shí)候,不會(huì)對(duì)晶圓,硅片的表面產(chǎn)生劃痕,不會(huì)因摩擦而對(duì)晶圓,硅片產(chǎn)生殘留物,從而提高了晶圓,硅片的表面潔凈度。
C.耐化學(xué)藥品性強(qiáng),在通常的化學(xué)藥品中,只有98%的濃硫酸能溶解或者破壞它,它的耐腐蝕性與鎳鋼相近,同時(shí)其自身具有阻燃性,在火焰條件下釋放煙和有毒氣體少,抗輻射能力強(qiáng)。